본 발명은 X선에 대해서도 양호한 반사 특성을 갖고, 반사경의 대형화를 억제하면서 수차 보정을 양호하게 실행할 수 있는 반사형 투영 광학계를 제공하는 것으로, 여섯 개의 반사경을 구비하고, 제 1 면(4)의 축소 이미지를 제 2 면(7) 상에 형성하는 투영 광학계. 제 1 면의 중간 이미지를 형성하기 위한 제 1 반사 결상 광학계 G1과, 중간 이미지의 이미지를 제 2 면 상에 형성하기 위한 제 2 반사 결상 광학계 G2를 구비하고 있다. 제 1 반사 결상 광학계는 제 1 면 측으로부터 광의 입사 순서로, 제 1 반사경 M1과 개구 조리개 AS와 제 2 반사경 M2와 제 3 반사경 M3과 제 4 반사경 M4를 갖는다. 제 2 반사 결상 광학계는 제 1 면 측으로부터 광의 입사 순서로, 제 5 반사경 M5와 제 6 반사경 M6을 갖는다.
