생물질, 예를 들어 생체활성 규소는 다공질 규소 영역(20)을 갖는 웨이퍼(10)를 생산하기 위하여 규소 웨이퍼를 양극화함으로써 제작할 수 있다. 시험관내 실험으로 일정 타입의 다공질 규소가 시뮬레이팅된 체액중에 침지시키는 경우 다공질 규소(20)과 이웃하고 있는 벌크 규소(22) 둘다에 아파타이트 침착물이 침착되도록 하는 것이 밝혀졌다. 이런 아파타이트의 침착은 적합한 형태의 다공질 규소가 생체활성이고, 따라서 또한 생체화합성임을 나타내는 지표를 제공한다. 다공질 규소 형태는 시뮬레이팅된 체액중에 용해되고 이는 재흡수성 생물질 특성의 지표가 된다. 다공질 규소 이외에, 특정 타입의 다결정상 규소는 생체활성 특성을 나타낸다. 생체활성 규소는 시험관내 또는 생체내 용도의 바이오센서의 제작에 사용될 수 있다. 생체활성 규소의 생체활성은 전압을 인가함으로써 조정할 수 있다.
