최적의 전자 빔 계측 안내를 위한 시스템들 및 방법들이 개시된다.특정한 실시예들에 따르면, 방법은 샘플의 취득된 이미지를 수신하는 단계, 취득된 이미지의 분석에 기초하여 이미지 파라미터 세트를 결정하는 단계, 이미지 파라미터 세트에 기초하여 모델 파라미터 세트를 결정하는 단계, 모델 파라미터 세트에 기초하여 시뮬레이션된 이미지 세트를 생성하는 단계를 포함할 수도 있다.그 방법은 시뮬레이션된 이미지 세트에 대한 임계 치수들의 측정을 수행하는 단계와, 임계 치수 측정결과들을 모델 파라미터 세트와 비교하는 단계를 더 포함하여 시뮬레이션된 이미지 세트로부터의 정보와 모델 파라미터 세트의 비교에 기초하여 안내 파라미터 세트를 제공할 수도 있다.그 방법은 임계 치수 균일도를 포함하는 타겟 파라미터들에 연관된 보조 정보를 수신하는 단계를 더 포함할 수도 있다.
