논문
논문 기본정보
RF Magnetron Sputtering법으로 제작된 (Pb0.92La0.08)(Zr0.65Ti0.35)O3 박막의 Ar/O2 분압비에 따른 강유전 특성연구
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society |
| ISSN | 1225-8822, |
| ISBN |
논문 개요
| 저자(한글) | 김상지,윤지언,황동현,이인석,안정훈,손영국 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 빌행연도 | 2009-01-01 |
| 초록 | rf magnetron sputtering 법을 이용하여 Pt/Ti/ $SiO_2$ /Si 기판 위에 buffer layer인 $TiO_2$ 층을 증착한 후 PLZT 강유전체 박막을 증착하였다. PLZT 박막 증착 시 가스 분압비가 박막의 특성에 미치는 영향을 알아보기 위해 Ar/ $O_2$ 분압비를 각각 27/1.5 sccm, 23/5.5 sccm, 21/7.5 sccm, 19/9.5 sccm로 변화시키면서 박막을 증착하였다. 이들 박막의 구조적인 특성을 분석하기 위해 X-선 회절법을 사용하였으며 FE-SEM을 이용하여 입자상을 관찰하였다. 또한 박막의 유전특성을 분석하기 위해 Precision LC를 이용하여 이력곡선, 잔류분극, 누설전류를 측정하였다. 산소 분압이 높아질수록 박막의 결정성 및 치밀성이 저하되었으며, (110) 방향에서 (111) 방향으로 우선배향성이 변화하는 것을 확인하였다. 산소 분압비의 변화는 박막 표면 및 강유전 특성에 영향을 미치는 것으로 판단된다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO200916256327121 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
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| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | 라디오파 마그네트론 스퍼터링 강유전체 박막 RF magnetron sputtering Ferroelectrics thin film PLZT |