논문
논문 기본정보
Chemical Solution Deposition 방법을 이용한 BiFeO3/Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 다층박막의 전기적 특성에 대한 연구
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society |
| ISSN | 1225-8822, |
| ISBN |
논문 개요
| 저자(한글) | 차정옥,안정선,이광배 |
|---|---|
| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 빌행연도 | 2010-01-01 |
| 초록 | $BiFeO_3(BFO)/Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ (PZT) bilayer와 multilayer의 다층구조를 만들어 전기적 특성을 측정하여 같은 두께의 BFO 단층박막과 비교해 보았다. BFO와 PZT 용액을 이용하였으며 chemical solution deposition 방법으로 Pt/Ti/ $SiO_2$ /Si(100) 기판위에 각 박막을 증착하였다. X-ray diffraction 분석을 통해 모든 박막이 다배향(multi-orientation) 페로브스카이트 (perovskite) 구조를 가졌음을 확인하였다. BFO/PZT Bilayer와 multilayer 박막들은 BFO 단층박막의 비해 누설전류 값이 500 kV/cm에서 약 4, 5차수 정도 감소했으며, 이로 인해 BFO/PZT 다층박막의 강유전체 특성이 크게 향상되었다. BFO/PZT multilayer 다층구조 박막의 경우 안정된 이력곡선(hysteresis loop)을 나타냈으며, 잔류 분극(remanent polarization)의 값은 $44.3{ mu}C/cm^2$ 이었으며, 항전계( $2E_c$ ) 값은 681.4 kV/cm였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201008939909544 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | 박막 누설전류 잔류분극 항전계 lt TEX gt $BiFeO_3$ lt /TEX gt (BFO) lt TEX gt $PbZrTiO_3$ lt /TEX gt (PZT) Thin film Leakage current Chemical solution deposition (CSD) Remanent polarization Coercive field |