논문
논문 기본정보
Acousto-Optic 기법을 이용한 Pt/Ti 박막 계면의 접합특성 평가
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 저널명 | 비파괴검사학회지 = Journal of the Korean society for nondestructive testing |
| ISSN | 1225-7842, |
| ISBN |
논문 개요
| 저자(한글) | 박해성,박익근 |
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| 저자(영문) | |
| 소속기관 | |
| 소속기관(영문) | |
| 출판인 | |
| 간행물 번호 | |
| 빌행연도 | 2016-01-01 |
| 초록 | 본 연구에서는 Pt/Ti 박막과 기판 사이 계면의 접합특성을 비파괴적으로 평가하는 acousto-optic 기법을 제안한다. 현재 상용화된 기술만으로 마이크로/나노 스케일의 박막을 평가하는데 많은 어려움이 있기 때문에 미세구조 변화에 민감한 광학기술과 음향기술이 결합된 간섭계를 적용하여 연구를 수행하였다. 사용한 기법은 마이켈슨 간섭계를 기반으로 하며, 거울에 의한 광 경로차 대신 박막시험편 계면의 진동 영향에 따라 발생하는 간섭현상을 분석하였다. 박막시험편은 특정 주파수에서 공진과 유사한 현상을 보이고 이로 인해 프린지 패턴의 콘트라스트가 낮아지므로, 각 주파수 대역별 프린지 패턴 변화를 스펙트럼 결과로 정량화하여 제안된 기법을 이용한 박막의 접합특성 평가 가능성을 확인하였다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=NART&cn=JAKO201622341963569 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
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| ICT 기술분류 | |
| DDC 분류 | |
| 주제어 (키워드) | Acousto-Optic 기법 마이켈슨 간섭계 박막 접합특성 비파괴평가 Acousto-Optic Technique Michelson Interferometer Thin Film Adhesion Properties Nondestructive Evaluation |