장비
장비 기본정보
이온빔 주사전자현미경
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Tescan |
| 모델명 | CZ/LYRA FEG XMH |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-11-13 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 충남대학교 공동실험실습관 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | 물리·재료장비 |
| 시설장비 설명 | 가속화된 전자(Electron) gun을 이용하여 시료 표면에 주사하였을 때 발생되는 2차 전자와 후방산란전자를 수집, 영상화시켜 미세영역 관찰 및 물질 조성 확인을 가능하게 하는 전자현미경 기능을 기본적으로 장착하였으며, 55° 각도로 FIB(Focused Ion Beam; Ga Ion Source) gun을 추가 장착하여 미세 영역을 etching, milling 할 수 있고 cross section 면에 대한 SEM image를 관찰 할 수 있음. 또한 TEM 관찰을 위한 매우 얇은 단면(lamella) 시료 제작을 위한 전처리용으로도 활용함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/LZkb7M1KnysRw6LOavSw_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 공동실험실습관 106호 |
| NFEC 등록번호 | |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-cnu_cre-00001 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |