장비
장비 기본정보
유기 세정 장치
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이치아이티 |
| 모델명 | Organic Wet Station |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-02-21 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 포항공과대학교 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 특징은 다음과 같습니다. Chemical Supply를 통해 공급되는 Chemical을 이용해 시료 상에 남아있는 유기물질을 제거유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 구성 및 성능은 다음과 같습니다. QDR Bath 1조 Strip Bath 1조 Photo 및 E-Beam Resist의 Strip 작업 가능 시료 표면의 유기 물질 및 이물질 제거유기 세정 장치(Organic Wet Station)장비의 활용분야는 다음과 같습니다. photo 시편 세정 시료 표면의 유기 물질 및 이물질 제거 E-Beam Resist의 Strip 작업 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110131161208.jpg |
| 장비위치주소 | 경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-06-056056 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008527 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |