장비
장비 기본정보
나노압인시험기
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Mts |
| 모델명 | Nano Indenter XP |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C702 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 뾰족한 다이아몬드 압자를 수 ~ 수십 mN 크기의 하중으로 표면을 압입하여 나노미터 스케일로 변형시켜서 측정된 하중과 변위곡선으로 부터 경도와 탄성계수 등의 기계적 특성을 평가하는 장치로서 Vickers 경도기와 달리 압입 흔적이 작아 그 크기를 쉽게 측정할 수 없는 박막 시료나 나노 구조물의 기계적 특성을 측정하는데 유용하다. - 최대 하중 : 500mN(DCM : 10 mN) - 하중 분해능 : 50nN(DCM : 1 nN) - 최대압입깊이 : 500㎛(DCM : 15㎛) - 변위 분해능 : 10pm(DCM : 0.2pm) - 재료의 기계적 물성 및 신뢰성 평가 - 박막 및 나노 구조물의 탄성계수 및 경도 측정 - 이미지 기능을 이용한 압흔 관찰 - 강성연속측정법 이용한 깊이별 물성 평가 - 크리프 및 피로 테스트 - 나노 비전을 이용하여 특정 영역의 물성 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/20140514104816869.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 6층 표면분석실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047857 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013626 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |