장비
장비 기본정보
적외선 분광기
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Thermo Electron |
| 모델명 | ECO -1000s |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-07-03 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 포항공과대학교 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 시료에 적외선을 조사하여 반대편 Detector에서 흡수 및 투과되는 IR 파장을 검출하여 시료내의 구성 성분들간의 고유 분자간 결합력을 분석함으로서 시료의 구성성분 및 양을 측정할 수 있는 분석장비임.구성및성능 a) Source부: IR을 발생시켜 Aperture를 통해 IR을 방사시킴. b) Interferometer부: 방사된 IR Spetral Encoding 시킴. c) Sample부: Sample이 Loading & Unloading됨. d) Detector 부: Sample이 통과한 IR 검출. e) Computer 부: 측정된 신호를 받아 Fuurier 변환하여 측정결과 표시.활용분야 반도체 제조공정 중 Silicon 내의 Carbon & Oxygen 농도 측정 산화막 내의 Boron & Phosphorus 농도 측정 질화막 내의 Hydrogen 농도 측정 Si Epi 두께 측정 등에 사용 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200908/.thumb/20090826132741.jpg |
| 장비위치주소 | 경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-08-072320 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013365 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |