장비
장비 기본정보
플라즈마 시험기
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan Inc. |
| 모델명 | 950 SOLARUS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-10-04 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B500 |
| 표준분류명 | 시험·검사장비 |
| 시설장비 설명 | Plasma system은 외부에서 공급되는 H2, O2, Ar 등 3가지의 Gas 가 장비 내부에 각각 장착된 Mass Flow Controller 를 통하여 시편의 종류 및 작업 목적에 따른 적정한 사용 비율로 배합 된 후 10 Watt ~ 100 Watt 사이에서 안정적으로 조절 할 수 있는 고유한 Power Supply 로 공급되어 매우 다양하고 활용도가 높은 Plasma 를 만들어 내게 되고, 진공 하에 필요한 Gas 를 선택하여 100 Watt 까지의 높은 수치로 설정 할 수 있는 RF Power Supply 에 걸어주면 투입된 Gas가 Plasma 상태로 활성화 됨. 이러한 Plasma 상태에서 시편의 표면에 존재하는 Hydrocarbon 오염 물질들을 효과적으로 제거하여 주는 방식을 기본 원리로 함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/CeRgjbgTkqo57IOL0VyD_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 10연구동 316 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-11-149930 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-krict_chem-00072 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |