장비
장비 기본정보
박막두께 측정장치
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | SEMITOOL |
| 모델명 | KT-22 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-08-16 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 시험·검사장비 |
| 시설장비 설명 | FILM THICKNESS METROLOGY SYSTEM은 굴절률을 이용하여 산화막,질화막,폴리머 등의 두께 측정 장치임. Nano Technology 연구에 사용되는 여러가지의 무기 및 유기 막질의 두께와 광학적 특성을 측정하는 장치로 막질의 두께 및 광학적 특성의 균일도의 자동 측정이 가능함. 광학부,필터부, 로딩부, 제어부로 구성되어 있으며, 8인치까지 로딩 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/DpJn0acEi2IvTw6t7YJi_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2005-04-014735 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KIST_Fab-00012 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |