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장비

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장비 기본정보

자외선 레이저

장비 개요
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 우양
모델명 Innova 305C
장비사양
취득일자 2001-10-12
취득금액

장비 개요

보유기관 및 이용정보
보유기관명 광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 B509
표준분류명 기타
시설장비 설명 Hologram Lithography란 빛의 상쇄 간섭 효과를 이용하여 반도체 및 각종 소자 등 제작시 패턴을 세기는 원리 중에 하나이다. 본 시스템은 DFB-레이저의 grating을 제작하는 연구를 위해 적합하도록 연구 개발된 장치로써 광간섭 효과를 이용하여 대량으로 손쉽게 균일한 회절격자를 제작할 수 있다는 장점을 가지고 있다.
장비이미지코드 https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013100713354215.jpg
장비위치주소 _ 정보통신공학부 A동
NFEC 등록번호 NFEC-2004-03-028692
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-NTIS-0005101?cloudId=200702080187
첨부파일

추가정보

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)