장비
장비 기본정보
자외선 레이저
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 우양 |
모델명 | Innova 305C |
장비사양 | |
취득일자 | 2001-10-12 |
취득금액 |
장비 개요
보유기관명 | 광주과학기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | B509 |
표준분류명 | 기타 |
시설장비 설명 | Hologram Lithography란 빛의 상쇄 간섭 효과를 이용하여 반도체 및 각종 소자 등 제작시 패턴을 세기는 원리 중에 하나이다. 본 시스템은 DFB-레이저의 grating을 제작하는 연구를 위해 적합하도록 연구 개발된 장치로써 광간섭 효과를 이용하여 대량으로 손쉽게 균일한 회절격자를 제작할 수 있다는 장점을 가지고 있다. |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013100713354215.jpg |
장비위치주소 | _ 정보통신공학부 A동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2004-03-028692 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-NTIS-0005101?cloudId=200702080187 |
첨부파일 |
추가정보
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |