장비
장비 기본정보
산용액 습식약품 처리기
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)아티스 |
| 모델명 | WET_2011 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-03-09 |
| 취득금액 |
장비 개요
| 보유기관명 | 서울테크노파크 |
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| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | 생산·공정장비 |
| 시설장비 설명 | 동작원리 : Wafer cleaning 및 etching 공정작업시에 사용이 되는 bench임. 주로, Acid를 이용하여 wafer 표면의 불순물이나, 박막을 제거하는데 사용이 되는 bench로서, 황산,인산,불산등 여러 산용액이 사용되는 장비라 주의를 요하는 장비임. 4“,6”,8“ wafer까지 cleaning이 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/XkbCkKVKYrJs7ap3oOre_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 서울테크노파크 OPEN FAB104-1 |
| NFEC 등록번호 | |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-seoultp-00038 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |