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장비

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장비 기본정보

전계방사형 주사전자현미경

장비 개요
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 JEOL
모델명 JMS-6700F
장비사양
취득일자 2003-11-14
취득금액

장비 개요

보유기관 및 이용정보
보유기관명 한국교통대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명 특징
SEM&EDX는 500A-1um의 전자빔을 시료표면에 주사시켜 시료표면에서 발생하는 다양한 신호를 검출하여 물질의 형태 및 구조 성분 등의 정보를 얻 을 수 있는 분석기기이다. 특히 시료표면에서 방사되는 특성X선의 파잔과 강도를 X선 분광기로 측정하여 그 미소영역에 0.1%아성 함유 되어 있 는 원소를 정성 및 정량 분석하는 장치이다. 분석가능한 시료는 고체로서 분석할 수 있는 원소 범위는 일반적으로 11Na-92U이고 시료의 크기는 5um이상이면 분석가능하다. 시료의 형태를 알아보기 위한 확대범위는 최대 50만배까지이고 시료는 비파괴 분석법을 사용하므로 몇 번이고 재사용이 가능하다.구성및성능
-EDX -FE-SEM활용분야
-금속 및 세라믹스의 파단면의 형태 관찰 -시료내의 불순물의 위치 -Powder의 형태와 크기 관찰 -반도체 증착 두께 측정 -고분자의 형태와 크기 표면형상관찰 -조직의 형태 관찰 각종 바이러스의 외부형태 관찰
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201311/.thumb/20131108112535147.jpg
장비위치주소 공동실험실습관
NFEC 등록번호 NFEC-2004-11-000160
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013381
첨부파일

추가정보

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)