| 초록 |
에어필터는 일반 빌딩의 공조용부터 산업용 클린룸까지 다양한 분야에서 사용되고 있으며, 우리 생활에서 매우 중요한 역할을 하고 있다. 에어필터의 주된 목적은 공기 중에 존재하는 먼지 등 미립자를 제거하여 청정한 공기를 얻는 것이다. 근년에는 항균, 탈취, 꽃가루 제거 등 거주 공간의 쾌적함을 추구하며, 에어필터가 내장된 에어컨, 공기청정기 및 청소기 등의 가전제품을 볼 수 있게 되면서 에어필터는 점점 우리에게 친근한 것이 되어가고 있다.<br /> 우리가 평소에 호흡하고 있는 공기 중에는 입자지름이 수나노미터에서 수마이크로미터 정도의 다양한 미립자가 부유하고 있으며, 우리 일상생활의 공간에는 완전한 청정 공기는 존재하지 않는다. 미립자의 발생원은 자연계의 바람으로 운반되는 먼지, 꽃가루, 미생물 등이 있으며, 인공적인 발생 원인으로서 산업 활동에서 생긴 분쇄 매진, 연소 매진, 자동차 배기가스 매진, 또 실내에서는 담배연기 등 다양하다. 그러나 이 공기 중의 미립자는 공산품이나 식품, 의약품의 제조에 있어서 때때로 문제를 일으키는 경우가 있다.<br /> 예를 들어 반도체 제조에 있어서는 퇴적된 먼지가 회로의 단락을 일으키거나, 정밀기계의 제조에 있어서는 접동부 등의 마찰 증대, 전기적인 오작동 등의 요인이 되거나 제품 불량으로 나타난다. 또 식품, 화장품 및 의약품 제조에 있어서는 공기 중의 미생물로 인한 오염으로 제품의 품질 악화를 일으킬 수 있다. 따라서 이들 제조에 있어서 미립자를 제거한 청정 공기는 필수 불가결하며, 그러한 청정 공기로 채워진 방을 클린룸이라고 부른다. 이 클린룸에서 주요한 역할을 담당하는 것이 에어필터이다.<br /> 에어필터는 일반적으로 섬유가 주체인 종이와 같은 여재를 지그재그로 접어 넣어(주름가공), 그것을 수지 또는 금속 등의 틀 속에 내장한 구조를 취한다(그림 1). 이것을 에어필터 유닛으로 부르기도 한다. 접어 넣은 여재의 총면적은 유닛 표면적에 대해 수배에서 수백 배로, 여과 면적을 넓게 취할 수 있다. 이것이 클릭룸의 천장 전면, 혹은 각 공조 기기의 송풍로에 설치되어 미립자를 제거하며 청정 공기를 공급하고 있는 것이다.<br /> 요구되는 공기의 청정도는 공기 청정의 목적 및 그 대상에 따라 다르다. 예를 들면 대도시 대기 중에는 입자지름 0.5μm 이상의 미립자가 1세제곱피트(ft3)당 수백만 개 정도 존재하는데, 그것에 대해 클린룸은 일반적으로 미립자를 10만 개/ft3 이하로 한 청정한 공간이다[1]. 집적회로(IC나 LSI) 제조 등의 반도체공업 분야에서는 더욱 엄격한 수준이 요구된다. LSI의 회로 패턴은 전자현미경으로 봐야 알아볼 수 있을 정도로 치밀하며, 집적도가 늘수록 그 치밀함은 증가한다. 만일 회로상에 미소한 이물질이 1개라도 부착되면 쇼트(단락)하여 그 LSI 칩은 불량이 되기 때문에 요구 수준은 높아진다. LSI 칩 제조에 있어서는, 미립자를 10개/ft3 이하로 한 슈퍼클린룸이 실현됐다. 이러한 슈퍼클린룸에는 공기 중의 입자를 고효율로 포집하는 초고성능 에어필터가 필수적이다. |
