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장비

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장비 기본정보

마스크 얼라이너

장비 개요
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 Karl Suss
모델명 MA6
장비사양
취득일자 2001-10-16
취득금액

장비 개요

보유기관 및 이용정보
보유기관명 한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C501
표준분류명 기타
시설장비 설명 특징 - voltag : 230v/50-Hz - Microscope ; M336(top)90x(bottom) - Exposure Optics : UV250/UV400/UV1000 - Mask hoder : MA6/BA6/BL/CONT/M-5-7/W-100(W-150)
장비이미지코드 http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013102421323280.JPG
장비위치주소 한국과학기술연구원 청정연구동(L6)
NFEC 등록번호 NFEC-2001-09-022639
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00017
첨부파일

추가정보

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)