장비
장비 기본정보
마스크 얼라이너
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Karl Suss |
모델명 | MA6 |
장비사양 | |
취득일자 | 2001-10-16 |
취득금액 |
장비 개요
보유기관명 | 한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C501 |
표준분류명 | 기타 |
시설장비 설명 | 특징 - voltag : 230v/50-Hz - Microscope ; M336(top)90x(bottom) - Exposure Optics : UV250/UV400/UV1000 - Mask hoder : MA6/BA6/BL/CONT/M-5-7/W-100(W-150) |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013102421323280.JPG |
장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
NFEC 등록번호 | NFEC-2001-09-022639 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIST_Fab-00017 |
첨부파일 |
추가정보
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |