장비
장비 기본정보
화학기상증착시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 케이에스엠 |
모델명 | KVL206 |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-12-05 |
취득금액 |
장비 개요
보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C507 |
표준분류명 | 분석 |
시설장비 설명 | 진공상태에서 박막을 증하는 방법. 증착이 일어나는 공간(chamber)내를 진공상태로 만들어 대기중에 있는 공기로 인해 생길 수 있는 부산물의 밀도를 낮추고 증착속도 등을 원활히 하는 방식 |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201301/화학기상증착시스템.jpg |
장비위치주소 | 대구경북과학기술원 중앙기기센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-174787 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171142 |
첨부파일 |
추가정보
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |