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장비

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장비 기본정보

화학기상증착시스템

장비 개요
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 케이에스엠
모델명 KVL206
장비사양
취득일자 2012-12-05
취득금액

장비 개요

보유기관 및 이용정보
보유기관명 대구경북과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C507
표준분류명 분석
시설장비 설명 진공상태에서 박막을 증하는 방법. 증착이 일어나는 공간(chamber)내를 진공상태로 만들어 대기중에 있는 공기로 인해 생길 수 있는 부산물의 밀도를 낮추고 증착속도 등을 원활히 하는 방식
장비이미지코드 https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201301/화학기상증착시스템.jpg
장비위치주소 대구경북과학기술원 중앙기기센터
NFEC 등록번호 NFEC-2013-02-174787
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812171142
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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)