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장비

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장비 기본정보

원자층 증착 장비

장비 개요
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 (주)엔씨디
모델명 Lucida D100
장비사양
취득일자 2012-02-16
취득금액

장비 개요

보유기관 및 이용정보
보유기관명 울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C509
표준분류명 분석
시설장비 설명 원자층 증착(atomic layer deposition ALD) 설비는 각각의 반응 기체들을 순차적인 펄스 형태로 주입하여 기상반응을 억제하고 기판표면에서 자기제한적인 흡착 과정(self-limited adsorption)을 통한 표면 반응에 의해 박막을 형성하는 설비이다. 전체 증착 되는 막의 두께는 증착 사이클의 수를 통해 조절되기 때문에 원자 층 단위에서의 두께 조절이 용이하다. 원자층 증착기는 기상 반응을 억제하고 기판 표면에서만 원자층 박막을 만들 수 있는 장치로 그 응용 분야는 반도체 박막을 요구하는 모든 분야에 적용이 가능하다. 특히 step coverage가 매우 높은 장점으로 인하여 반도체 공정에서 특히 많이 사용이 되고 있는 장비이다.
장비이미지코드 https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927134219.jpg
장비위치주소 울산과학기술대학교 자연과학관
NFEC 등록번호 NFEC-2012-09-172240
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812172466
첨부파일

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)