장비
장비 기본정보
원자층 증착 장비
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | (주)엔씨디 |
모델명 | Lucida D100 |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-02-16 |
취득금액 |
장비 개요
보유기관명 | 울산과학기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C509 |
표준분류명 | 분석 |
시설장비 설명 | 원자층 증착(atomic layer deposition ALD) 설비는 각각의 반응 기체들을 순차적인 펄스 형태로 주입하여 기상반응을 억제하고 기판표면에서 자기제한적인 흡착 과정(self-limited adsorption)을 통한 표면 반응에 의해 박막을 형성하는 설비이다. 전체 증착 되는 막의 두께는 증착 사이클의 수를 통해 조절되기 때문에 원자 층 단위에서의 두께 조절이 용이하다. 원자층 증착기는 기상 반응을 억제하고 기판 표면에서만 원자층 박막을 만들 수 있는 장치로 그 응용 분야는 반도체 박막을 요구하는 모든 분야에 적용이 가능하다. 특히 step coverage가 매우 높은 장점으로 인하여 반도체 공정에서 특히 많이 사용이 되고 있는 장비이다. |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927134219.jpg |
장비위치주소 | 울산과학기술대학교 자연과학관 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2012-09-172240 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201812172466 |
첨부파일 |
추가정보
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |